MEMS

移動体制御におけるMEMSジャイロの台頭

熊谷秀夫 [ Link to JSTAGE ] Overview - 本論では特にMEMSジャイロを中心にセンサの種類、性能、移動体への応用例を紹介する。移動体と定義するのは難しいが、最近は携帯電話に３軸ジャイロ、３軸加 […]